[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P3-16] 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討

〇小西 敏文¹、山根 大輔^2,4、佐布 晃昭¹、曽根 正人^2,4、年吉 洋^3,4、益 一哉^2,4、町田 克之^1,2,4 (1.NTT-AT、2.東工大、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード：MEMS、慣性センサ、粘性定数

我々は、積層メタル技術を用いた静電容量型MEMS慣性センサの研究開発を行っている。センサの高性能化を実現するためには、機械ノイズの設計パラメータを明確にする必要がある。今回、センサの構造パラメータと粘性定数の関係について検討を行った。パラメータを変えたデバイスを実際に作製し、各デバイスの周波数特性から粘性定数を求めた。測定結果から、センサの構造パラメータを用いた新たな粘性定数モデル式を提案した。