[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [14p-P3-18] 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討

〇(D)高安 基大^1,3、權田 惇晟^1,3、山根 大輔^1,3、伊藤 浩之^1,3、小西 敏文²、道正 志郎^1,3、石原 昇^1,3、町田 克之^1,2,3、益 一哉^1,3 (1.東工大、2.NTT-AT、3.JST-CREST)

キーワード：積層メタル技術、MEMS、慣性センサ