[16a-E206-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[16a-E206-6] ミニマル装置化に向けた水プラズマアッシング技術の開発

〇相澤 洸¹、山田 武史¹、野川 満徳¹、大西 康弘¹、三浦 典子^1,3、石島 達夫²、北野 卓也²、鈴木 宏明²、塩田 有波²、クンプアン ソマワン^3,4、原 史朗^3,4 (1.米倉製作所、2.金沢大、3.ミニマル組合、4.産総研)

キーワード：ミニマル、アッシング