2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[16p-412-1~20] 13.5 デバイス／集積化技術

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

2017年3月16日(木) 13:15 〜 18:30 412 (412)

池田 圭司(東芝)、小林 正治(東大)

16:30 〜 16:45

▼ [16p-412-13] Enhancement of Mobility in UTB-GeOI p-MOSFETs Realized by Si-passivated Back Interface Control

〇(PC)張 文馨1、入沢 寿史1、石井 裕之1、服部 浩之1、高木 秀樹1、倉島 優一1、前田 辰郎1 (1.産総研)

キーワード：Ge, MOSFET, Si passivation