[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17a-315-8] ハイブリッド対向スパッタを用いたITO薄膜作製における組成依存性

〇諸橋 信一^1,2、谷本 司¹、辻田 圭佑¹ (1.山口大、2.産総研)

キーワード：ハイブリッド対向スパッタ、ITO薄膜

独自開発のハイブリッド対向スパッタを用いて，組成の異なる２種類のターゲットで，As-depo状態でPETフィルム基板上にITO薄膜を作製し，抵抗率，ホール効果測定，及び透過率測定を行い，比較検討をしたので報告する。