[17a-E206-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [17a-E206-11] ガラス上における大粒径Ge薄膜の固相成長と高移動度実証

〇吉峯 遼太¹、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大院)

キーワード：ゲルマニウム、固相成長