[17p-211-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[17p-211-3] 非質量分離型イオン注入によるa-Si/c-Siヘテロ接合界面のP,H分布

〇小山 晃一¹、山口 昇²、田中 美和²、鈴木 英夫²、大平 圭介¹、松村 英樹¹ (1.北陸先端大、2.アルバック)

キーワード：Cat-CVD、イオン注入、ヘテロ接合太陽電池