13:45 〜 14:00 [20p-438-1] 有機錯体生成と錯体熱脱離を用いた酸化ランタンの選択的サイクルエッチング 〇山口 欣秀1、篠田 和典1、藤崎 寿美子1、高妻 豊2、川村 剛平2、伊澤 勝2 (1.日立研開、2.日立ハイテク)