[18a-233-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[18a-233-4] ランダム振動印加時の圧電MEMS振動発電素子の発電特性

〇村上 修一¹、吉村 武²、金岡 祐介¹、荒牧 正明²、津田 和城¹、佐藤 和郎¹、神田 健介³、藤村 紀文² (1.大阪技術研、2.阪府大院工、3.兵庫県立大)

キーワード：圧電、環境発電、振動発電

我々は構造が簡便で小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子に着目し研究開発を行っている。これまでは発電の周波数特性を評価する際、正弦波振動を印加することが多く、ランダム振動試験の報告例は少ないのが現状である。本研究では、錘付き片持ち梁上にPb(Zr,Ti)O₃ (PZT)圧電体膜を製膜した圧電MEMS振動発電素子を試作し、ランダム振動試験を行ったところ、新しい知見が得られたので報告する。