[18a-233-1~10] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /Interconnect technology/ MEMS/ Integration technology

[18a-233-4] Power Generation Characteristics of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters Under Random Oscillation

〇Shuichi Murakami¹, Takeshi Yoshimura², Yusuke Kanaoka¹, Masaaki Aramaki², Kazuki Tsuda¹, Kazuo Satoh¹, Kensuke Kanda³, Norifumi Fujimura² (1.ORIST, 2.Osaka Pref. Univ., 3.Univ. of Hyogo)

Keywords:piezoelectricity, energy harvester, vibration energy harvester

我々は構造が簡便で小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子に着目し研究開発を行っている。これまでは発電の周波数特性を評価する際、正弦波振動を印加することが多く、ランダム振動試験の報告例は少ないのが現状である。本研究では、錘付き片持ち梁上にPb(Zr,Ti)O₃ (PZT)圧電体膜を製膜した圧電MEMS振動発電素子を試作し、ランダム振動試験を行ったところ、新しい知見が得られたので報告する。