[19p-133-1~19] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [19p-133-5] Characterization of piezoelectric property for orientation-controlled (K,Na)NbO₃ films prepared by hydrothermal method.

〇(M2)Akinori Tateyama¹, Yoshiharu Ito¹, Yoshiko Nakamura¹, Takao Simizu¹, Yuichiro orino¹, Minoru Kurosawa¹, Hiroshi Uchida², Takahisa Shiraishi³, Takanori kKguchi³, Toyohiko Konno³, Mutsuo Ishikawa^1,4, Nobuhiro Kumada⁵, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech., 2.Sophia Univ., 3.Tohoku Univ., 4.Toin Univ. Yokohama, 5.Yamanashi Univ.)

Keywords:Piezoelectric, Hydrothermal synthesis

(K,Na)NbO₃膜の圧電定数e_31,fについてはこれまで様々な作製法・組成・基板で報告されており、中でもスパッタ法で作製した膜においてカンチレバーを用いて大きな値が報告されている。種々の作製法の中で、水熱法は作製温度が300°C以下の低温で作製が可能なため、これまでの作製方法で指摘されていたKやNaの揮発による組成ズレの問題が少ない。我々は、焼結体の成形や通常の薄膜作製法では対応しにくい2- 100 µmの広い膜厚範囲の配向体の作製が可能なことを報告してきた。本研究では、水熱合成法で作製した(K,Na)NbO₃膜において、圧電定数e_31,fの評価を行ったので報告する。