[20a-233-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-233-1] 大気圧熱プラズマジェット照射による溶融シリコン内温度分布の可視化

〇水川 友里¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：大気圧熱プラズマジェット、非接触温度測定