[20a-234A-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20a-234A-5] プラズマ支援ミストCVD法による酸化亜鉛薄膜の低温形成と評価

〇城戸 智孝¹、御厨 丈輝¹、杉野 玲奈¹、西 康孝²、中積 誠²、岩堀 恒一郎²、谷田部 然治^1,3、浪平 隆男^1,4、中村 有水^1,5,6 (1.熊大自然科学、2.株ニコン、3.熊大院先導機構、4.熊大パルス、5.熊大院先端科学、6.熊大有機薄膜)

キーワード：透明導電膜