[20p-133-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-133-8] a-Si_1-xO_x:H薄膜のパッシベーション性能

〇斉藤 公彦¹、小長井 誠² (1.福島大共生ｼｽﾃﾑ理工学類、2.東京都市大総研)

キーワード：太陽電池、ヘテロ接合、アモルファスシリコン

超薄型Rib構造ヘテロ接合太陽電池の表面パッシベーション層にa-Si_1-xO_x:H薄膜の適用を検討している。実際の素子で適用する数nmといった膜厚でのパッシベーション性能を評価するため、n型c-Si基板の両面にn型a-Si:H/a-Si_1-xO_x:Hを形成したサンドイッチ構造の試料を用いて、QSSPC法によるキャリアライフタイム評価を行った。