[20p-221C-1~15] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20p-221C-13] 三フッ化塩素を用いたSiCエピリアクタクリーニングにおける酸化イット
リウム膜による石英ガラス保護効果

川﨑 稜平¹、梅津 康浩²、倉島 圭祐¹、塩田 耕平¹、廣岡 亜純¹、〇羽深 等¹ (1.横国大院工、2.テクノクォーツ)

キーワード：三フッ化塩素ガス、Y2O3、保護膜

様々な装置の耐腐食性保護膜として用いられている酸化イットリウムの三フッ化塩素に対する耐腐食性を調査し、石英ガラスフランジの保護膜に用いた結果について、詳細を報告する。