[20p-233-1~10] ナノエレクトロニクス材料・デバイス研究開発を目指した先端イオン顕微鏡技術

▲ [20p-233-7] Energy Analysis of H₃⁺ Ion Beam Emitted from Gas field ionization source

〇Shinichi Matsubara¹、Hiroyasu Shichi¹、Tomihiro Hashizume¹、Anto Yasaka² (1.Hitachi, Ltd.、2.Hitachi High-Tech Science Co.)

キーワード：Ion beam, Gas field ion source, GFIS