[21p-135-1~16] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[21p-135-12] 有機アンモニウム塩の電解による半導体洗浄用アルカリ液の開発(第2報)
-有機カチオン種による次亜塩素酸イオン分解反応メカニズムの解明-

〇金井 隆宏¹、長嶋 裕次¹、平林 英明²、平川 雅章³ (1.芝浦メカトロニクス(株)、2.東芝マテリアル(株)、3.(株)東芝生産技術センター)

キーワード：半導体