[21p-146-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-146-3] THVPE法を用いたN極性GaNの高温成長

〇(M2)大関 大輔¹、竹川 直¹、河本 直哉¹、山口 晃²、村上 尚¹、熊谷 義直¹、松本 功²、纐纈 明伯¹ (1.農工大工、2.大陽日酸)

キーワード：窒化ガリウム、気相成長、トリハライド気相成長法