[21p-233-1~14] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /Interconnect technology/ MEMS/ Integration technology

[21p-233-5] Measurement and evaluation of pMOS current mirror circuits fabricated by Minimalfab

〇Tomoaki Kageyama^1,2, Sommawan Khumpuang^2,3, Shiro Hara^2,3, Sang-Seok Lee¹ (1.Tottori Univ., 2.AIST, 3.MINIMAL)

Keywords:Minimal Fab

ミニマルファブは非常に小型なミニマル装置で製造を行うため，アナログ回路を構成する場合，隣接する素子の特性にどの程度差が生ずるか見極める必要がある．本報告では、ミニマルファブで差動増幅器などの電流源として多用されるカレントミラー回路を作製し，アナログ回路としての品質および品質に影響を与えうる要素について実験を元に評価する．