17:15 〜 17:30 [19p-C302-14] RIE-GaN表面へのAlGaN直接成長によるAlGaN/GaN構造の電気的特性におけるRIE損傷層除去効果 〇山本 高勇1、金谷 彗杜1、牧野 伸哉1、葛原 正明1 (1.福井大院工)