15:30 〜 15:45 [18p-B301-10] 誘導帯電を利用した半導体デバイスの純水スプレー洗浄の静電気障害対策~第2報 誘導帯電素子の位置および形状に関する検討~ 〇清家 善之1、渡辺 隼人1、宮川 将吾1、森 竜雄1、瀬川 大司2、小林 義典2、宮地 計ニ2、甘利 昌彦2 (1.愛知工大、2.旭サナック)