10:30 〜 10:45
〇餅井 亮介1、藤井 茉美1、石河 泰明1、菅原 祐太2、野寺 伸武2、松本 隆夫2、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.堺ディスプレイ)
餅井 亮介
発表者・著者、共著者
2018年3月17日(土) 09:30 〜 12:30 C101 (52-101)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年3月17日(土) 09:30 〜 12:30 C101 (52-101)
10:30 〜 10:45
〇餅井 亮介1、藤井 茉美1、石河 泰明1、菅原 祐太2、野寺 伸武2、松本 隆夫2、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.堺ディスプレイ)