13:30 〜 13:45 [17p-C201-2] 低エネルギーケイ素分子イオンビームの生成と酸化ケイ素成膜への応用 〇吉村 智1、杉本 敏司1、竹内 孝江2、村井 健介3、木内 正人1,3 (1.阪大工、2.奈良女大、3.産総研)