13:30 〜 13:45 [17p-F210-1] 室温ALD法を援用した斜め蒸着法による微小トンネル接合の作製 〇吉川 圭祐1、伊藤 直輝1、今野 寛己2、水柿 義直1、島田 宏1、鹿又 健作3、廣瀬 文彦3 (1.電通大基盤理工、2.電通大先進理工、3.山形大院理工)