14:00 〜 14:15 △ [18p-D103-4] 分子イオン注入エピウェーハの製品特性(4)-フラッシュランプ熱処理による注入欠陥の結晶性回復挙動解析- 〇小林 弘治1、奥山 亮輔1、柾田 亜由美1、重松 理史1、廣瀬 諒1、古賀 祥泰1、奥田 秀彦1、栗田 一成1 (1.株式会社 SUMCO)