16:00 〜 16:15
〇居村 史人1,2、影山 智明1,3、井上 道弘1、猿渡 新水1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル、3.鳥大)
居村 史人
発表者・著者、共著者
2018年3月20日(火) 13:45 〜 16:45 C101 (52-101)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年3月20日(火) 13:45 〜 16:45 C101 (52-101)
16:00 〜 16:15
〇居村 史人1,2、影山 智明1,3、井上 道弘1、猿渡 新水1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル、3.鳥大)