[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [17p-P7-11] 高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討

〇新島 宏文¹、乙部 翔太¹、高安 基大¹、山根 大輔¹、小西 敏文^1,2、佐布 晃昭²、伊藤 浩之¹、年吉 洋³、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大)

キーワード：MEMS加速度センサ、Brownian Noise、積層メタル技術