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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18a-D103-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2018年3月18日(日) 09:00 〜 11:45 D103 (56-103)

小野敏昭(SUMCO)、河合宏樹(東芝)

10:00 〜 10:15

[18a-D103-5] 急冷と徐冷hot zoneによるCZ結晶成長中の格子間原子の発生機構－急冷の場合(Ⅰ)-

〇阿部孝夫¹、高橋徹¹、白井光雲² (1.信越半導体、2.阪大産研)

キーワード：Si中の点欠陥