[18p-B301-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18p-B301-3] 絶縁体表面帯電の自己補償機構の解明に向けたプラズマCVD SiO₂膜に対するXPSによる表面帯電評価

〇(B)牛丸 晃太^1,2、張江 貴大^1,2、小林 大輔²、山本 知之¹、廣瀬 和之^1,2 (1.早大理工、2.宇宙研)

キーワード：絶縁体、チャージアップ、X線光電子分光法