[18p-C201-1~7] イオンビームと表面分析：二次イオン質量分析法（SIMS）の最近の進歩と有機分析への応用

[18p-C201-4] 針型エミッターからのプロトン性イオン液体のビーム生成：高集束性かつ高感度なSIMS用クラスターイオン源を目指して

〇藤原 幸雄¹、齋藤 直昭¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：イオンビーム、二次イオン、イオン液体

プロトン性イオン液体を真空エレクトロスプレーによってビーム化し、SIMS用一次イオンビームとしての特性を評価したので、その結果について報告する。今回は、従来からのキャピラリー型エミッターではなく、ニードル型エミッターを用いて実験を行った。プロトン性イオン液体としては、硝酸プロピルアンモニウム（PAN）を用いた。本発表では、ビーム特性やSIMS結果について報告する。