[20a-C101-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-C101-8] ミニマルファブを用いたTiN SOI-CMOSプロセスの構築

〇古賀 和博¹、柳 永勛²、居村 史人^1,2、加瀬 雅²、野田 周一^1,2、根本 一正²、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.ミニマル推進機構、2.産総研)

キーワード：ミニマルファブ、熱拡散