2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[20p-D103-1~14] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2018年3月20日(火) 13:15 〜 17:00 D103 (56-103)

土方 泰斗(埼玉大)、竹内 和歌奈(名大)

14:30 〜 14:45

[20p-D103-6] SiCジャンクションレスMOSFETによるAl原子がチャネル移動度に与える影響の検証

武田 紘典1、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工)

キーワード:SiC MOSFET、Alイオン注入、電子移動度