14:30 〜 14:45 △ [18p-C212-5] 炭化水素分子イオン注入領域における銅ゲッタリングに対する3次元アトムプローブを用いた酸素の影響解析 〇重松 理史1、奥山 亮輔1、廣瀬 諒1、柾田 亜由美1、門野 武1、小林 弘治1、鈴木 陽洋1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)