15:00 〜 15:15 [19p-E304-6] ミニマルファブを用いたSOI-CMOS 集積回路の試作 〇森川 剛一1、岡本 祥吾1、新藤 浩之1、クンプアン ソマワン2、原 史朗2 (1.宇宙航空研究開発機構、2.産業技術総合研究所)