17:45 〜 18:00 [20p-E311-16] SiC結晶中シリコン空孔のODMR信号に熱処理温度が及ぼす影響 〇(M2)千葉 陽史1,2、山﨑 雄一2、牧野 高紘2、佐藤 真一郎2、山田 尚人2、佐藤 隆博2、土方 泰斗1、大島 武2 (1.埼玉大院、2.量研)