09:00 〜 09:15
〇野沢 善幸1、リャオ ブライアン1、藤井 竜介1、速水 利泰1、大堀 大介2、野田 周一3、門井 幹夫4、石田 昌久5、田中 麻美5、曽田 匡洋5、遠藤 和彦3、寒川 誠二2 (1.SPPテクノロジーズ、2.東北大流体研、3.産総研、4.リソテックジャパン、5.長瀬産業)
野沢 善幸
発表者・著者、共著者
2019年9月18日(水) 09:00 〜 12:00 C309 (C309)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理