09:30 〜 11:30 [18a-PA6-4] 異なる希釈ガスを用いたRF 低圧テトラメチルシランプラズマにおける電極への入射イオンの質量分析 〇鈴木 駿1、小川 慎1、石井 晃一1、小田 昭紀1、太田 貴之2、上坂 裕之3、渡邉 泰章4 (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大、4.イノベーションサイエンス(株))