09:00 〜 09:15
〇和光 拓人1、仮屋崎 弘昭2、黒田 周1、宮本 聡1、藤森 洋行2、遠藤 哲郎3,4、伊藤 公平1 (1.慶大理工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン、3.東北大CIES、4.JST-ACCEL)
和光 拓人
発表者・著者、共著者
2019年9月19日(木) 09:00 〜 12:15 E305 (E305)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.3 絶縁膜技術
2019年9月19日(木) 09:00 〜 12:15 E305 (E305)
09:00 〜 09:15
〇和光 拓人1、仮屋崎 弘昭2、黒田 周1、宮本 聡1、藤森 洋行2、遠藤 哲郎3,4、伊藤 公平1 (1.慶大理工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン、3.東北大CIES、4.JST-ACCEL)