16:30 〜 16:45
〇根本 一正1、谷島 孝1、田中 宏幸1、野田 周一1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル推進機構)
根本 一正
発表者・著者、共著者
2019年9月19日(木) 13:45 〜 17:15 E304 (E304)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年9月19日(木) 13:45 〜 17:15 E304 (E304)
16:30 〜 16:45
〇根本 一正1、谷島 孝1、田中 宏幸1、野田 周一1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル推進機構)