16:30 〜 16:45 [19p-E304-11] ミニマルファブを用いたダイヤモンドウェハのデバイスプロセス 〇根本 一正1、谷島 孝1、田中 宏幸1、野田 周一1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル推進機構)