14:30 〜 14:45 [19p-E318-5] 九州シンクロトロン光研究センター(SAGA Light Source)におけるEUV専用ビームライン(BL18)の再整備とPMMAレジストのテスト露光 〇米山 明男1、河田 眞太郎1,2 (1.九州シンクロトロン光研究センター、2.東京工業大学)
16:15 〜 16:30 [19p-E318-10] Si-APDリニアアレイ検出器を用いたns時間分解能の位相イメージング法の基礎検討 〇米山 明男1、兵藤 一行2、岸本 俊二2 (1.佐賀LS、2.高エネ研PF)