15:45 〜 16:00 △ [20p-B31-8] エキシマ光プロセスを用いた超平坦ポリマー基板上でのZnO薄膜の低温合成と高結晶配向化 〇(M2)大賀 友瑛1、大島 淳史1、金子 奈帆1、金子 智2,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)