09:15 〜 09:30 [21a-E301-2] ICPエッチングがAlGaN/GaN界面の2DEGに与える影響の評価 〇野崎 幹人1、寺島 大貴1、吉越 章隆2、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工、2.原子力機構)