[18a-C212-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18a-C212-2] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学（15）NO対系シャローサーマルドナーの熱処理挙動

〇井上 直久^1,2、奥田 修一²、川又 修一² (1.東京農工大学工学院、2.大阪府大研究推進)

キーワード：シリコン結晶、窒素酸素複合体、赤外吸収

低濃度窒素ドープCZシリコン結晶の濃度の赤外測定のためNO対の局在振動を検出し同定する。4種の構造の候補となる微弱吸収の温度依存性を高精度に決定し、973,1002cm^-1吸収がO(NO)O構造に、855,1064cm^-1吸収がO(NO)に、736cm^-1吸収は(NO)Oに、769, 946 cm^-1吸収はNO吸収と見られることを再確認した。