[18a-C212-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18a-C212-3] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(ⅩⅨ) 第二世代赤外吸収測定法の標準手順

〇井上 直久^1,2、奥田 修一²、川又 修一² (1.東京農工大学工学院、2.大阪府大研究推進)

キーワード：CZシリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収

前回までにシリコン結晶中の低濃度炭素の赤外吸収測定で室温で単結晶とポリシリコンの検出下限10¹³/cm³、定量下限10¹⁴/cm³を実現しメーカで実用化された。そこで今回はその標準手順の基礎を提案する。人工参照試料の準備、装置の較正、高精度スペクトルの取得、ベースライン(Long:573-618-637cm^-1, Short: 592-618 cm-1)と妨害吸収消去(600, 608, 612 cm^-1)から構成される。