[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-C309-10] CH₃Fの電子物性と解離

〇林 俊雄¹、石川 健治¹、関根 誠¹、堀 勝¹ (1.名古屋大学)

キーワード：半導体、エッチング

CH₃Iの励起状態の構造についてはHerzbergによって詳しく議論され、強いJahn-Teller効果が働くことが指摘されている。CH₃Cl及びCH₃Fの励起状態の構造についても同様な効果が働くと推察される。Locht等によって測定されたCH₃FのVUVスペクトルでは、IP以下のエネルギー領域に３つのピークが観測されているが、そのassignmentが議論の対象になっている。計算の結果、強いJahn-Teller効果を確認すると共に、C-F結合距離に沿ってCH₃⁺ + F^－、F-C-H結合角に沿ってCH₂ + HFに解離することが確認された。