[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-C309-2] マスクレス超低損傷加工を実現するバイオテンプレート形成装置の開発

〇門井 幹夫¹、石田 昌久²、田中 麻美²、曽田 匡洋²、大堀 大介³、野田 周一⁴、野沢 善幸⁵、リャオ ブライアン⁵、藤井 竜介⁵、速水 利泰⁵、遠藤 和彦⁴、寒川 誠二³ (1.リソテックジャパン、2.長瀬産業、3.東北大流体研、4.産総研、5.SPPテクノロジーズ)

キーワード：ナノ量子ドット、フェリチン、マスクレス加工

ナノサイズ量子ドットの加工が実現すると、太陽電池や熱電変換素子等を安価に製造することが可能となり、環境電源として高効率の発電機能をもつIoT用途の素子の実現に大きく貢献する。本研究開発では、高価なフォトリソグラフィーを用いることなく、マスクレスでナノ構造が形成できるエッチングマスクとなるナノサイズの鉄コアを包含するフェリティンたんぱく質の自己配向性を利用したバイオテンプレート形成装置を開発した。