[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-C309-3] 酸化物と有機金属錯体を経由したコバルトのサイクルエッチング

〇藤崎 寿美子¹、山口 欣秀¹、小林 浩之¹、篠田 和典¹、山田 将貴¹、濱村 浩孝¹、川村 剛平²、大竹 浩人²、伊澤 勝² (1.日立研開、2.日立ハイテク)

キーワード：エッチング、有機金属錯体、コバルト