[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-C309-4] アセチルアセトンによる遷移金属表面におけるサーマルエッチング反応解析

〇伊藤 智子¹、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：アトミックレイヤーエッチング、遷移金属