[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [18a-C309-6] 二周波重畳容量結合型プラズマにおけるキャピラリープレート内の電位構造解析

〇(D)森山 誠¹、三矢 晶洋¹、中原 尚哉¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝¹ (1.名大工)

キーワード：二周波重畳容量結合プラズマ、空間電位構造