[18a-E304-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[18a-E304-5] 大気圧熱プラズマジェット照射中におけるa-Si膜上溶融領域の温度分布可視化のためのin-situモニタリング

〇水川 友里¹、亀田 朝輝¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：大気圧熱プラズマジェット、非接触温度測定