[18a-PA6-1~12] 8.1 Plasma production and diagnostics

[18a-PA6-8] Operation Characteristics of Plasma Cathode for Sheet Plasma Production Using Lanthanum Tungsten Hot Cathode

〇(M1)Yoshiyuki Matsui¹, Toshiro Kasuya¹, Motoi Wada¹ (1.Doshisha Univ.)

Keywords:Sheet Plasma

プラズマの形状をシート状にすると，急峻な電子密度および温度勾配を持ち，安定した高温プラズマが生成される．そのため，局所的に高密度な磁化プラズマの生成を行えることから，効率的に短時間でのスパッタリングが可能となる．
本研究では熱陰極を用いたプラズマカソードより, シートプラズマを形成する. 熱陰極には通常のタングステンではなく, 低いフィラメント電力でプラズマの点弧が可能であるランタンタングステンを用いる.